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上海国际电子生产设备展览会一年一届，因办展的不可控性,可能会出现主题变更、延期或取消的情况，参展参观前请联系主办方核实！关注会展号了解展会动态。

“上海国际电子生产设备暨微电子工业展览会”是由国家级行业科研机构主办的具有权威性的大型国际展览会，上海国际电子生产设备暨微电子工业展将集中展示电子生产设备及微电子行业的**新产品与技术，为企业树立品牌形象，促进贸易合作、市场开发，引领行业趋势，加强生产、研发、销售互动，深入洞悉国内外电子生产设备及微电子行业市场未来发展新风向，以发展的眼光挖掘未来电子生产设备及微电子行业市场的新需求，创新展会内涵，全方位、多层次组织专业观众，为参展企业和参会客商提供了一个技术交流、产品展示和贸易洽谈的**佳平台。届时，热忱欢迎国内外的电子生产设备及微电子企业及其相关行业人士前来参观与交流！上海国际电子生产设备暨微电子工业展览会，将在上海新国际博览中心盛大召开。与全国重要的电子企业面对面接触，上海电子展您不容错过！

参展范围
1.MEMS 加工设备：薄膜成形（汽相淀积、溅射、CVD、覆镀；曝光系统、蚀刻技术；防腐处理；刻蚀；晶圆键合；切割；芯片/导线焊接；封装；微成形 (注射, 热压)；其他生产设备等；
2.纳米压印技术：微纳米模型；纳米压印生产设备等；
3.纳米机械微制程技术：**精度纳米机械工艺；**精密加工, 微制造；表面微加工；精细钻孔；微观切割；雷射、离子脉冲加工；聚焦离子束系统；微放电加工；**声波设备等；
4.分析与检测仪器：光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统等；
5.软件建模：设计工具、仿真软件、CAD & CAE分析软件等；
6.MEMS 代工服务：仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀等；
7.材料：压电薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗压材料、附着材料、保护材料；碳纳米管、蓝宝石、聚合物、陶瓷；LTCC 基板Glass substrate、SiC；磁性材料、铁电性材料等；
8.生物技术与医疗应用：MEMS 在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；尖端DNA & RNA 技术、微反应器、微流引导等；
9.MEMS 器件：光学MEMS (反射, 光量开关, 扫描等)；射频MEMS (开关，振荡器，过滤)；MEMS物理传感器 (加速传感器，速率传感器，压力传感器，气体传感器，温度传感器)；微射流（微流引导，微感应器等）；MEMS执行器（灯，泵）；MEMS电能（燃料电池，微发电机等）；生物/化学MEMS（DNA/RNA技术，化学检测等）；高复合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一体化)等
10.MEMS 应用：品 (麦克风,显示等)；**微型机械人装置、微型工厂等；传感器网络；能量收集等；